Tecnologias Asistidas Por Plasma

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AUTOR(A): Andres Gil Negrete

FECHA: 1997

NOMBRE DEL ARCHIVO: Tecnologias Asistidas Por Plasma.pdf

DESCRIPCIÓN

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Los autores Gil Negrete Tagle Múgica y Oñate conjuganuna formación y conocimiento técnico del plasma y sus procesos así como una gran experiencia profesional en las aplicaciones y desarrollo de estas tecnologías. "Tecnologías asistidas por plasma" son una oportunidad para la mejora y competitividad del tejido industrial.
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Procesos de recubrimiento asistidos por plasma « Oerlikon ...

Transferencias de Patterns. Grabado por descargas de gas a baja presión. Técnicas de grabado asistidas por Plasma. Control de la velocidad de grabado y selectividad. Procesos de grabado seco para tecnología VLSI. Tema 9. Metalización. Métodos físicos basados en deposición de vapor. Problemas y fallos en la metalización.

Polimerización por plasma

Procedimiento de recubrimiento en el que moléculas orgánicas polimerizan en plasma y se depositan sobre un sustrato. Puesto que la polimerización por plasma se desencadena por la rotura de enlaces en las moléculas monoméricas, el plasma también permite polimerizar compuestos saturados.Los polímeros de plasma suelen presentar una estructura molecular menos regular y un mayor grado de ...
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